特許
J-GLOBAL ID:200903069570072604

ガス製造装置の停止方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 磯野 道造 ,  多田 悦夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-334430
公開番号(公開出願番号):特開2009-154079
出願日: 2007年12月26日
公開日(公表日): 2009年07月16日
要約:
【課題】停止信号が入力された際、ガスの製造を停止すると共に、次回起動時において製造されるガスに含まれる不純物を好適に低減可能なガス製造装置の停止方法を提供する。【解決手段】2つ以上の吸着塔を備え、PSA機構によりガスを製造するガス製造装置の停止方法であって、停止信号が入力された後、少なくとも1つの吸着塔の残留ガスを、他の吸着塔に供給し、吸着塔間の圧力を略同一とする第1均圧ステップと、前記第1均圧ステップにおいて残留ガスを供給した吸着塔を脱圧する第1脱圧ステップと、を含むことを特徴とするガス製造装置の停止方法である。【選択図】図1
請求項(抜粋):
2つ以上の吸着塔を備え、PSA機構によりガスを製造するガス製造装置の停止方法であって、 停止信号が入力された後、少なくとも1つの吸着塔の残留ガスを、他の吸着塔に供給し、吸着塔間の圧力を略同一とする第1均圧ステップと、 前記第1均圧ステップにおいて残留ガスを供給した吸着塔を脱圧する第1脱圧ステップと、 を含むことを特徴とするガス製造装置の停止方法。
IPC (1件):
B01D 53/04
FI (1件):
B01D53/04 B
Fターム (13件):
4D012BA02 ,  4D012BA03 ,  4D012CA07 ,  4D012CB16 ,  4D012CD07 ,  4D012CE01 ,  4D012CE02 ,  4D012CF03 ,  4D012CF10 ,  4D012CG01 ,  4D012CJ01 ,  4D012CJ02 ,  4D012CJ10
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (1件)
  • 特開昭59-008605

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