表面検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：細江利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-028699
公開番号（公開出願番号）：特開2000-298102
出願日： 2000年02月07日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：

【要約】【課題】表面粗さの粗い被検査対象物においても、凹凸が数μm程度の微小凹凸性疵を確実に検出できる装置及び方法を提供する。【解決手段】検出ヘッド3中には、光源4が設けられ、鋼板1の表面に、可視域の波長の平行光を入射角θが90度近くの大きな角度で照射している。鋼板1の表面で反射された光は、半透明のスクリーン6上に像を結ぶ。その像をスクリーン6の背面から2次元カメラ7で撮像し、信号処理装置8で画像処理を行うことにより凹凸性疵を検出する。光源からの光の波長をλ、鋼板1への照射光の入射角をθとすると、cosθ/λを所定値以下にすることにより、入射角を鋼板表面からの反射光は鏡面反射光となるが、凹凸性疵があると、その部分が黒くスクリーン6に写るので、疵の存在を検出することができる。

請求項（抜粋）：

被検査体の表面に所定の入射角で光を照射する光源と、前記被検査体の表面から反射された光を検出する検出系とを有し、微小凹凸性疵を検出する表面検査装置において、前記光源の波長λに対する前記入射角θの余弦の値の比cosθ/λが、前記被検体の表面粗さに対応して決定される所定の値以下となるように、前記波長と前記入射角の関係が選定されていることを特徴とする表面検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/892 , G01N 21/84

FI (2件)：

G01N 21/892 B , G01N 21/84 E

引用特許：

審査官引用 (15件)

表面欠陥検査方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-246590 出願人：川崎製鉄株式会社
鋼帯表面疵検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-192804 出願人：川崎製鉄株式会社
特開昭62-062205

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