特許
J-GLOBAL ID:200903069646776045
バーンイン試験システムにおける試験ボード用回路
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
荒船 博司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-299927
公開番号(公開出願番号):特開2000-131392
出願日: 1998年10月21日
公開日(公表日): 2000年05月12日
要約:
【要約】【課題】 本発明の課題は、コントローラを増設することなく、バーンイン試験用の試験ボード全てにSKEWデータを転送する転送時間を短縮することである。【解決手段】 試験ボード10が、コントローラ200から入力される制御信号に応じて、被試験デバイス300へ印加する試験用の印加パターンと、被試験デバイス300から戻ってくる試験結果信号とのSKEW調整を行って試験を行う。そして、このSKEW調整用のSKEWデータの更新は、コントローラ200から入力される制御信号に応じて、パターン生成回路19が、インクリメント回路18と、メモリ16と、セレクタ17と、遅延時間可変回路11〜12とに制御信号を出力して、印加パターンに応じたSKEWデータをメモリ16内から出力させ、遅延時間可変回路11〜12が保持しているSKEWデータを更新することにより行う。
請求項(抜粋):
SKEW調整用のSKEWデータを記憶するメモリと、被試験デバイスに所定の試験信号を印加する際に、前記メモリに記憶されたSKEWデータに基づいて該試験信号のSKEW調整を行い、この試験信号に応じて該被試験デバイスから出力される結果信号を前記メモリに記憶されたSKEWデータに基づいてSKEW調整を行うSKEW調整回路と、前記SKEW調整回路によりSKEW調整された結果信号に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定回路と、を備えたことを特徴とするバーンイン試験システムにおける試験ボード用回路。
IPC (3件):
G01R 31/28
, G01R 31/319
, H01L 21/66
FI (3件):
G01R 31/28 P
, H01L 21/66 H
, G01R 31/28 R
Fターム (13件):
2G032AA08
, 2G032AB02
, 2G032AB13
, 2G032AD06
, 2G032AD07
, 2G032AE08
, 2G032AE14
, 2G032AG02
, 2G032AG04
, 4M106AA04
, 4M106BA14
, 4M106CA56
, 4M106DJ34
引用特許:
審査官引用 (6件)
-
特開昭63-111480
-
自動テスト装置用イベントシーケンサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-224453
出願人:シュルンベルジェテクノロジーズ,インコーポレイテッド
-
特開平3-216568
-
IC試験装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-137201
出願人:安藤電気株式会社
-
特開昭63-111480
-
特開平3-216568
全件表示
前のページに戻る