特許
J-GLOBAL ID:200903069667054805
アクチュエータと情報記録再生装置およびアクチュエータの製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
池内 寛幸 (外5名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-026991
公開番号(公開出願番号):特開2001-309673
出願日: 2001年02月02日
公開日(公表日): 2001年11月02日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】薄い膜厚のアクチュエータの圧電部材を、合成樹脂製の形状保持板により補強することにより、剛性を高めて共振周波数を調整する。【解決手段】アクチュエータは形状保持板(4)と、前記形状保持板上に一体化して配置された圧電部材(1)と、前記圧電部材(1)を挟み込むように形成された一対の電極(2a,2b)とを備えたアクチュエータであって、前記形状保持板(4)として合成樹脂を用いる。圧電素子を接着剤を用いることなく素子化することができ、さらに素子の微細化、自由な設計が可能である。また、従来の圧電素子と比較して格段に変位を得ることができる。特に磁気ヘッドなどのアクチュエータとして応用した場合、高精度に制御可能なアクチュエータと情報記録再生装置を実現することができる。
請求項(抜粋):
形状保持板と、前記形状保持板上に一体化して配置された圧電部材と、前記圧電部材を挟み込むように形成された一対の電極とを備えたアクチュエータであって、前記形状保持板が合成樹脂であることを特徴とするアクチュエータ。
IPC (6件):
H02N 2/00
, G11B 5/596
, G11B 21/10
, G11B 21/21
, H01L 41/09
, H01L 41/22
FI (7件):
H02N 2/00 B
, G11B 5/596
, G11B 21/10 N
, G11B 21/21 C
, H01L 41/08 J
, H01L 41/08 U
, H01L 41/22 Z
Fターム (11件):
5D042LA01
, 5D042MA15
, 5D059AA01
, 5D059BA01
, 5D059CA18
, 5D059DA19
, 5D059DA26
, 5D059DA31
, 5D059EA08
, 5D096NN03
, 5D096NN07
引用特許:
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