蒸着装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：板垣孝夫 , 森本義弘 , 笹原敏司 , 原田洋平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-300838
公開番号（公開出願番号）：特開2006-111926
出願日： 2004年10月15日
公開日（公表日）： 2006年04月27日
要約：

【課題】蒸発材料の放出濃度が高い蒸発材料の放出口付近であっても蒸発材料の放出量を長期間測定することができる蒸着装置を提供することを目的とする。【解決手段】蒸発材料取出用孔部4c(5c)の縁部に設けられた熱電対21a(21b)と、放出用容器4(5)の加熱設定温度と熱電対21a(21b)により検出された測定温度との温度偏差を算出する監視制御装置11とを具備し、温度偏差に基づき、放出レートすなわち蒸発材料の放出量割合を求めるようにしたので、従来の水晶振動子式のように蒸発材料が堆積する膜厚計を蒸発材料の放出濃度が非常に高い場所に設置して放出量割合を検出する場合とは異なり、蒸発材料が堆積する問題がなく連続して長期間使用することができ、したがって蒸着装置の稼働率が低下することを防止することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

蒸発された蒸着材料である蒸発材料を被蒸着部材に付着させて蒸着を行う蒸着装置であって、前記蒸着材料を加熱する蒸発用加熱手段を有し前記蒸着材料を蒸発させる蒸発源と、前記蒸発源からの前記蒸発材料が放出される蒸発材料取出用開口部とを有する蒸着手段を備え、且つ前記蒸発材料取出用開口部の縁部に設けられた温度検出手段と、前記蒸発材料の加熱設定温度と前記温度検出手段により検出された測定温度との温度偏差を算出する制御手段とを具備し、前記制御手段は前記温度偏差に基づいて前記蒸発源より蒸発される前記蒸発材料の放出量を制御することを特徴とする蒸着装置。

IPC (1件)：

C23C 14/24

FI (1件)：

C23C14/24 U

Fターム (12件)：

3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 4K029AA09 , 4K029AA24 , 4K029BA62 , 4K029BD00 , 4K029CA01 , 4K029DA06 , 4K029DB14 , 4K029EA00 , 4K029EA02

引用特許：

出願人引用 (1件)

真空蒸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-122163 出願人：東芝硝子株式会社

審査官引用 (7件)

蒸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-059778 出願人：日電アネルバ株式会社
特開平2-125866
特開平4-236769

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