特許
J-GLOBAL ID：200903069764366188

溶液の供給装置

発明者：
松嶋 大輔

松嶋 大輔 について

, 
黒澤 雅彦

黒澤 雅彦 について


出願人/特許権者：
芝浦メカトロニクス株式会社

芝浦メカトロニクス株式会社 について


代理人 (6件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-367750
公開番号（公開出願番号）：特開2005-131465
出願日： 2003年10月28日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：
【課題】この発明は基板に溶液を均一な厚さになるよう供給することができるようにした溶液の供給装置を提供することにある。【解決手段】基板に溶液をインクジェット方式によって供給する供給装置において、 上面に基板を載置して所定方向に駆動される搬送テーブル3と、溶液を液滴状に噴射する複数のノズル17を有し、搬送テーブルの上方に所定方向に対して交差する方向に沿って配置された複数のヘッド11と、搬送テーブルの上記所定方向の移動を検出するリニアエンコーダ20と、リニアエンコーダからの検出信号によってヘッドのノズルから基板の所定方向に沿う溶液の噴射を制御する制御装置31とを具備する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板に溶液をインクジェット方式によって供給する溶液の供給装置において、 上面に上記基板を載置して所定方向に駆動される搬送テーブルと、 上記溶液を液滴状に噴射する複数のノズルを有し、上記搬送テーブルの上方に上記所定方向に対して交差する方向に沿って配置された複数のヘッドと、 上記搬送テーブルの上記所定方向の移動を検出する検出手段と、 この検出手段からの検出信号によって上記ヘッドのノズルから上記基板の上記所定方向に沿う溶液の噴射を制御する制御手段と を具備したことを特徴とする溶液の供給装置。
IPC (5件)：
B05C5/00 ,  B05C11/00 ,  B41J2/01 ,  H01L21/288 ,  H01L21/68
FI (5件)：
B05C5/00 101 ,  B05C11/00 ,  H01L21/288 Z ,  H01L21/68 F ,  B41J3/04 101Z
Fターム (32件)：
2C056EA07 ,  2C056EB12 ,  2C056EC35 ,  2C056FA04 ,  2C056FA13 ,  2C056FB01 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA22 ,  4F041BA38 ,  4F042AA02 ,  4F042AA07 ,  4F042AB00 ,  4F042DH09 ,  4M104DD51 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA13 ,  5F031HA53 ,  5F031JA01 ,  5F031JA04 ,  5F031JA14 ,  5F031JA21 ,  5F031JA32 ,  5F031JA36 ,  5F031JA37 ,  5F031LA12 ,  5F031MA26 ,  5F031PA30
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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