特許
J-GLOBAL ID：200903069767135195

投影光学系および該光学系を備えた露光装置

発明者：
工藤 祐司

工藤 祐司 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-053579
公開番号（公開出願番号）：特開平8-220432
出願日： 1995年02月17日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：
【要約】【目的】 シリンドリカル光学系を1組しか用いることなく、物体面の像を縦横独立に拡大または縮小して像面上に投影することのできる投影光学系を提供すること。【構成】 本発明においては、第1面からの光束を集光して所定の第2面上に前記第1面の像を形成するとともに、前記第2面内での互いに直交した2方向のうちの少なくとも一方の方向の像を他方の方向の像に対して相対的に拡大または縮小する投影光学系において、前記投影光学系は、前記互いに直交した2方向のうちの一方の方向のみに屈折力を有するシリンドリカル光学系を有し、前記シリンドリカル光学系は、前記互いに直交した2方向のうちの一方の方向のみに屈折力を有する第1光学手段と、該第1光学手段の屈折力を有する方向のみに屈折力を有する第2光学手段とを有し、前記シリンドリカル光学系によって前記第2面内での互いに直交した2方向における結像位置を一致させる。
請求項（抜粋）：
第1面からの光束を集光して所定の第2面上に前記第1面の像を形成するとともに、前記第2面内での互いに直交した2方向のうちの少なくとも一方の方向の像を他方の方向の像に対して相対的に拡大または縮小する投影光学系において、前記投影光学系は、前記互いに直交した2方向のうちの一方の方向のみに屈折力を有するシリンドリカル光学系を有し、前記シリンドリカル光学系は、前記互いに直交した2方向のうちの一方の方向のみに屈折力を有する第1光学手段と、該第1光学手段の屈折力を有する方向のみに屈折力を有する第2光学手段とを有し、前記シリンドリカル光学系によって前記第2面内での互いに直交した2方向における結像位置を一致させることを特徴とする投影光学系。
IPC (2件)：
G02B 13/24 ,  G02B 13/12
FI (2件)：
G02B 13/24 ,  G02B 13/12
引用特許：
審査官引用 (24件)
  • アフォーカル光学系
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-162209   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
  • 反射屈折光学系
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-016275   出願人：株式会社ニコン
  • オフアクシス反射屈折型投影光学系
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-336469   出願人：株式会社ニコン
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