特許
J-GLOBAL ID：200903069776752407
カンチレバー着脱機構
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-165147
公開番号（公開出願番号）：特開平8-029435
出願日： 1994年07月18日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：
【要約】【目的】簡単且つ短時間にカンチレバーを交換可能で且つ交換前後の使用状態をほぼ一致させることが可能なコンパクトなカンチレバー着脱機構を提供する。【構成】自由端に探針2を有するカンチレバー4の基端を支持する基板6を着脱自在に構成され且つカンチレバーを所定方向に位置決め保持可能なホルダ26と、カンチレバーを水平面Hに対して所定の傾斜角度θに位置決めさせると共に探針を所定位置に位置決めさせるように、ホルダを着脱自在に支持可能な支持台28とを備える。支持台には、ホルダを挿脱可能なアリ溝30が形成されており、ホルダには、基板を着脱可能な着脱部32が設けられている。着脱部は、基盤を角度θだけ傾斜させて装着可能な装着面32aと、基盤の当接面6bを当接支持する第1のガイド面32bと、バリ6aを回避して傾斜延出され且つその延出端によって基盤の側面6cを当接支持する第2のガイド面32cとを備える。
請求項（抜粋）：
自由端に探針を有するカンチレバーの基端を支持する基板を着脱自在に構成され且つ前記カンチレバーを所定方向に所定角度で位置決め保持可能なホルダと、前記カンチレバーを基準面に対して所定の傾斜角度に位置決めさせると共に前記カンチレバーの探針を所定位置に位置決めさせるように、前記ホルダを着脱自在に支持可能な支持台とを備えていることを特徴とするカンチレバー着脱機構。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
