特許

J-GLOBAL ID：200903069863948172

アーク式蒸発源

発明者： 岡崎 尚登 ,  大谷 聡 ,  村上 浩 ,  平塚 治男 ,  緒方 潔
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-257841
公開番号（公開出願番号）：特開平11-080940
出願日： 1997年09月05日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：

【要約】【課題】 陰極から飛散するドロップレットを低減することができ、しかも膜厚均一性の高い成膜領域が広いアーク式蒸発源を提供する。【解決手段】 このアーク式蒸発源2aは、陰極4の蒸発面5を取り囲むように、当該蒸発面5を含む領域に磁界を形成するものであって蒸発面5の前方に向けて徐々に直径を増していて円錐台状をしている磁気コイル8aを設けている。しかもこの磁気コイル8aは、蒸発面5での強さが700Oe以上の磁界を形成する。

請求項（抜粋）：

アーク放電によって陰極を溶解させて陰極物質を蒸発させるアーク式蒸発源において、前記陰極の陰極物質を蒸発させる蒸発面を取り囲むように、当該蒸発面を含む領域に磁界を形成するものであって蒸発面の前方に向けて徐々に直径を増していて概ね円錐台状をしている磁界形成手段を設けており、しかもこの磁界形成手段は、前記陰極の蒸発面での強さが700エルステッド以上の磁界を形成するものであることを特徴とするアーク式蒸発源。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• プラズマ強化装置と電気アーク蒸着法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-129628   出願人：マルチ・アーク・サイエンティフィック・コーティングズ
• レーザアブレーション装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-124943   出願人：株式会社神戸製鋼所
• 特開平4-143267
  
• 特開平2-194167