特許
J-GLOBAL ID：200903069941758083

走査型プロ-ブ顕微鏡の測定方法

発明者：
村山 健

村山 健 について


出願人/特許権者：
日立建機株式会社

日立建機株式会社 について


代理人 (1件)： 田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-016795
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214175
出願日： 1999年01月26日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：
【要約】【課題】 走査型プローブ顕微鏡で、広域測定を行うときまたは狭域走査で時間をかけて測定を行うとき、測定誤差を確認し、測定データの信頼性を評価し、測定誤差を除去して測定誤差を低減し、信頼性の高い測定を行えるようにする。【解決手段】 試料14の表面での測定対象領域41を測定する走査型プローブ顕微鏡の測定方法について、試料表面に沿ってX軸方向に往復動作42を行わせかつY軸方向に送り動作43を行わせて測定対象領域の第1の測定データを取得し、次に試料表面に沿ってY軸方向に往復動作44を行わせかつX軸方向に送り動作45を行わせて同じ測定対象領域の第2の測定データを取得し、第1と第2の測定データを比較して、測定データを評価する方法である。
請求項（抜粋）：
試料の表面で定められた測定対象領域で、前記試料に対向させて配置した探針を試料に対して相対的な関係で第1方向とこれに交差する第2方向に移動させながら、前記試料と前記探針の間に生じる物理量が初期設定状態に保持されるように、前記探針に関する条件を制御し、この制御に要した電気量から前記測定対象領域に関する測定データを得るように構成される走査型プローブ顕微鏡において、前記試料の表面に沿って第1方向に往復動作を行わせかつ第2方向に送り動作を行わせて前記測定対象領域の第1の測定データを取得し、次に、前記試料の表面に沿って第2方向に往復動作を行わせかつ第1方向に送り動作を行わせて前記測定対象領域の第2の測定データを取得し、前記第1と前記第2の測定データを比較することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡の測定方法。
IPC (3件)：
G01N 37/00 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30
FI (4件)：
G01N 37/00 A ,  G01N 37/00 U ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 Z
Fターム (32件)：
2F063AA43 ,  2F063BD11 ,  2F063CA09 ,  2F063CA10 ,  2F063DA01 ,  2F063DB05 ,  2F063DC08 ,  2F063DD02 ,  2F063EA16 ,  2F063EC00 ,  2F063FA07 ,  2F063GA57 ,  2F063JA04 ,  2F063LA13 ,  2F063LA23 ,  2F063LA29 ,  2F063MA05 ,  2F069AA60 ,  2F069EE02 ,  2F069EE09 ,  2F069GG01 ,  2F069GG04 ,  2F069GG39 ,  2F069GG62 ,  2F069GG72 ,  2F069HH05 ,  2F069JJ06 ,  2F069JJ14 ,  2F069JJ26 ,  2F069LL03 ,  2F069NN26 ,  2F069QQ10
引用特許：
審査官引用 (5件)
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