特許
J-GLOBAL ID:200903069947256667
電気接続装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松永 宣行
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-254498
公開番号(公開出願番号):特開2001-074778
出願日: 1999年09月08日
公開日(公表日): 2001年03月23日
要約:
【要約】【目的】 種類の異なる被検査基板を検査するときの装置自体の取り扱いを容易にすること【解決手段】 電気接続装置は、装置本体に取り外し可能に配置されかつ対応する辺の長手方向へ伸びるプローブベースと、該プローブベースの一端部に配置された原点マークと、該原点マークを被検査基板と垂直の方向から撮影するようにプローブベースに配置されたカメラと、プローブベースに配置された複数のプローブとを含む2以上のプローブユニットを装置本体に取り外し可能に配置している。被検査基板の種類が変更されたときは、新たな被検査基板に応じたプローブユニットに交換される。
請求項(抜粋):
本体と、仮想的な四角形の第1の辺にあって前記本体に取り外し可能に配置された第1のプローブユニットと、前記第1の辺の隣りの第2の辺にあって前記本体に取り外し可能に配置された第2のプローブユニットとを含み、各プローブユニットは、前記本体に取り外し可能に配置されかつ対応する辺の長手方向へ伸びるプローブベースと、該プローブベースの一端部に配置された原点マークと、該原点マークを被検査基板と垂直の方向から撮影するように前記プローブベースに配置されたカメラと、前記プローブベースに配置された複数のプローブとを含む、電気接続装置。
IPC (5件):
G01R 1/073
, G01R 1/06
, G01R 31/02
, G01R 31/28
, H01L 21/66
FI (5件):
G01R 1/073 D
, G01R 1/06 E
, G01R 31/02
, H01L 21/66 B
, G01R 31/28 K
Fターム (34件):
2G011AA02
, 2G011AA16
, 2G011AB07
, 2G011AC01
, 2G011AC02
, 2G011AC06
, 2G011AC12
, 2G011AC14
, 2G011AE01
, 2G011AE03
, 2G014AA13
, 2G014AA32
, 2G014AB21
, 2G014AC10
, 2G032AA00
, 2G032AB01
, 2G032AE04
, 2G032AF02
, 2G032AF03
, 2G032AF04
, 2G032AK03
, 2G032AL03
, 4M106AB09
, 4M106BA01
, 4M106DD01
, 4M106DD10
, 4M106DD13
, 4M106DD30
, 4M106DG10
, 4M106DG25
, 4M106DJ04
, 4M106DJ06
, 4M106DJ07
, 4M106DJ21
引用特許: