特許
J-GLOBAL ID：200903025126294512

電極配線の検査装置

発明者：
前田 博己

前田 博己 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-362295
公開番号（公開出願番号）：特開平11-174108
出願日： 1997年12月12日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 プラズマディスプレイパネル用の基板の電極配線等の電極配線の断線、短絡の検査装置を提供する。【解決手段】 基板180を固定して載置し、基板を所定の検査領域に運搬するステージ110と、基板の電極配線の配線方向であるY方向に沿って、ステージ上の基板のY方向幅を跨ぐように、基板面と所定の略一定間隔で離れて設けられ、基板のX方向幅の全ての範囲を移動できる移動部120と、移動部にてそれぞれ所定のY方向位置に固定された、電極配線の断線、短絡の有無を検査するための、4個のプローブヘッド部130とを有し、前記4個のプローブヘッド部は、Y方向位置を独立に制御可能なものであり、且つ、各プローブヘッド部は、基板の電極配線の複数本にそれぞれ独立して電気的に接触できる所定ピッチ間隔の複数個の端子を持つプローブカード133を有する。
請求項（抜粋）：
プラズマディスプレイパネル用の基板上の電極配線等、基板上に設けられた電極配線の断線、短絡の有無を検査する検査装置であって、基板を固定して載置し、基板を所定の検査領域に運搬するステージと、基板の電極配線の配線方向であるY方向に沿って、ステージ上の基板のY方向幅を跨ぐように、基板面と所定の略一定間隔で離れて設けられ、且つ、ステージとは独立して、基板の配線方向に略直交して基板面に沿うX方向に基板のX方向幅の全ての範囲を移動できる移動部と、前記移動部にてそれぞれ所定のY方向位置に固定された、電極配線の断線、短絡の有無を検査するための、4個のプローブヘッド部とを有し、前記4個のプローブヘッド部は、それぞれ、互いに接触しない範囲で、移動部に固定されるY方向位置を独立に制御可能なものであり、且つ、各プローブヘッド部は、基板の電極配線の複数本にそれぞれ独立して電気的に接触できる所定ピッチ間隔の複数個の端子を持つプローブカードを有し、プローブカードのX、Y位置とX方向とY方向に直交するZ位置を所定の範囲で調整できるものであることを特徴とする電極配線の検査装置。
IPC (3件)：
G01R 31/02 ,  H01J 9/42 ,  H01J 11/00
FI (3件)：
G01R 31/02 ,  H01J 9/42 A ,  H01J 11/00 K
引用特許：
審査官引用 (7件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM