特許
J-GLOBAL ID:200903070194756333

マイクロレンズアレイの取付構造および画像露光装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 柳田 征史 ,  佐久間 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-072362
公開番号(公開出願番号):特開2006-258852
出願日: 2005年03月15日
公開日(公表日): 2006年09月28日
要約:
【課題】 光学装置に取り付けられるマイクロレンズアレイの位置ずれを防止する。 【解決手段】 マイクロレンズアレイ55を、それを用いる光学装置の保持部材81に取り付ける構造において、マイクロレンズアレイ55と保持部材81との間に、それら両者の線膨張係数の中間の線膨張係数を有する材料からなり、それら両者に接する中間部材85を介在させる。【選択図】 図20
請求項(抜粋):
マイクロレンズアレイを、それを用いる光学装置の保持部材に取り付ける構造において、 前記マイクロレンズアレイと保持部材との間に、それら両者の線膨張係数の中間の線膨張係数を有する材料からなり、それら両者に接する中間部材が介在していることを特徴とするマイクロレンズアレイの取付構造。
IPC (4件):
G02B 3/00 ,  G02B 7/00 ,  G02B 26/08 ,  G02B 27/18
FI (4件):
G02B3/00 A ,  G02B7/00 F ,  G02B26/08 E ,  G02B27/18 A
Fターム (4件):
2H041AA13 ,  2H041AB14 ,  2H043AE09 ,  2H043AE23
引用特許:
出願人引用 (2件)

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