透明導電性材料およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-303230
公開番号（公開出願番号）：特開2002-114598
出願日： 2000年10月03日
公開日（公表日）： 2002年04月16日
要約：

【要約】【課題】プラスチックような耐熱性の低い基材上に対しても、ガラス基板上とほぼ同様に、特性の優れたZnO系透明導電膜を形成できる方法および透明導電性材料を提供する。【解決手段】基材の片面に種結晶層を形成し、この種結晶層の上に酸化亜鉛層をを形成するという2段階の成膜プロセスを経て得られる透明導電性材料。

請求項（抜粋）：

基材の片面に種結晶層を形成し、この種結晶層の上に酸化亜鉛層を設けた構成の透明導電膜を有する透明導電性材料。

IPC (6件)：

C30B 29/16 , C23C 14/08 , C23C 16/40 , H01B 5/14 , H01B 13/00 503 , H01L 31/04

FI (6件)：

C30B 29/16 , C23C 14/08 C , C23C 16/40 , H01B 5/14 A , H01B 13/00 503 B , H01L 31/04 M

Fターム (60件)：

4G077AA03 , 4G077BB07 , 4G077DA01 , 4G077DA11 , 4G077DB01 , 4G077DB08 , 4G077EB10 , 4G077ED02 , 4G077ED06 , 4G077EH10 , 4G077HA05 , 4G077SA04 , 4G077SA07 , 4G077TA04 , 4G077TA07 , 4K029AA11 , 4K029BA41 , 4K029BA49 , 4K029BA51 , 4K029BB02 , 4K029BB08 , 4K029BC09 , 4K029BD00 , 4K029CA05 , 4K029DC05 , 4K029DC34 , 4K029DC39 , 4K029EA08 , 4K030AA11 , 4K030AA14 , 4K030AA17 , 4K030AA20 , 4K030BA35 , 4K030BA47 , 4K030BA50 , 4K030BB03 , 4K030BB13 , 4K030CA07 , 4K030FA01 , 4K030HA01 , 4K030JA10 , 4K030LA01 , 4K030LA16 , 4K030LA18 , 5F051AA05 , 5F051CB27 , 5F051FA02 , 5F051FA08 , 5F051FA18 , 5F051FA19 , 5G307FA01 , 5G307FA02 , 5G307FB01 , 5G307FC03 , 5G323BB01 , 5G323BB02 , 5G323BB03 , 5G323BB04 , 5G323BB05 , 5G323BC03

引用特許：

審査官引用 (5件)

酸化亜鉛膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-065743 出願人：富士電機株式会社
多結晶酸化薄膜の酸素最密充填面を用いたZnO薄膜電極構造体及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-339766 出願人：三星電管株式會社
特開平4-104937

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