表面形状の評価方法および評価装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩壁冬樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-192393
公開番号（公開出願番号）：特開平11-148813
出願日： 1998年06月23日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：

【要約】【課題】表面形状における歪み等をさらに精度よく検出したい。【解決手段】面光源1は、周期的な明暗を有するパターンをガラス2に照射する。ガラス2を透過したパターンはCCDカメラ3で撮像され、信号処理装置4は、撮像における明暗周期のずれ(ガラス2に照射されたパターンにおける明暗周期に対するずれ)にもとづいてガラス2の表面形状を評価する。

請求項（抜粋）：

周期的な明暗を有するパターンを被評価物体に照射し、前記被評価物体を透過したパターンまたは反射したパターンを受光し、前記被評価物体に照射されたパターンにおける明暗周期に対する受光画像における明暗周期のずれにもとづいて前記被評価物体の表面形状を評価する表面形状の評価方法。

IPC (3件)：

G01B 11/30 , G01B 11/30 101 , G01B 11/24

FI (3件)：

G01B 11/30 C , G01B 11/30 101 A , G01B 11/24 M

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-050714
特開平2-285208
特開昭59-023205

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