特許

J-GLOBAL ID：200903070386897127

感光性組成物及びそれを用いて得られる焼成物パターン

発明者： 柿沼 正久 ,  友部 大 ,  高木 幸一
出願人/特許権者： 太陽インキ製造株式会社
代理人 (1件)： ▲吉▼田 繁喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-063904
公開番号（公開出願番号）：特開平11-246638
出願日： 1998年03月02日
公開日（公表日）： 1999年09月14日
要約：

【要約】【課題】 焼成後のパターンのよれや線幅収縮等の問題もなく、フォトリソグラフィー技術により容易に高精細の導電パターン、ガラス質誘電体パターン、蛍光体パターンなどの焼成物パターンを形成できるアルカリ現像型の感光性組成物及びそれにより得られる焼成物パターンを提供する。【解決手段】 組成物は、(A)不飽和二重結合を有する酸無水物(a)と不飽和二重結合を有する化合物(b)の共重合体に、水酸基と不飽和二重結合を有する化合物(c)を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性ポリマー、(B)希釈剤、(C)光重合開始剤、(D)無機粉体、及び(E)安定剤を含有する。この感光性組成物を基板上に塗布した後、所定のパターン通りに露光し、アルカリ水溶液により現像した後、焼成することにより、高精細の焼成物パターンを形成できる。

請求項（抜粋）：

(A)不飽和二重結合を有する酸無水物(a)と不飽和二重結合を有する化合物(b)の共重合体に、水酸基と不飽和二重結合を有する化合物(c)を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性ポリマー、(B)希釈剤、(C)光重合開始剤、(D)無機粉体、及び(E)安定剤を含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (12件)：

C08F290/12 ,  C08F 2/48 ,  C08F299/00 ,  H01B 1/22 ,  H01B 3/00 ,  H01B 3/08 ,  H01J 9/20 ,  H01J 9/227 ,  C09D 4/00 ,  C09D 5/00 ,  C09D 5/22 ,  C09D 5/24

FI (12件)：

C08F290/12 ,  C08F 2/48 ,  C08F299/00 ,  H01B 1/22 A ,  H01B 3/00 F ,  H01B 3/08 A ,  H01J 9/20 A ,  H01J 9/227 F ,  C09D 4/00 ,  C09D 5/00 C ,  C09D 5/22 ,  C09D 5/24

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 導体ペースト組成物及びその硬化物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-172982   出願人：日本化薬株式会社
• ブラックマトリックス及びカラーフィルターの製造法並びにカラーフィルター
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-313188   出願人：日立化成工業株式会社
• 感光性導電ペーストおよび電極の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-300115   出願人：東レ株式会社
• 感光性ペースト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-022795   出願人：東レ株式会社