除振装置及び露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：立石篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-074590
公開番号（公開出願番号）：特開平9-326362
出願日： 1997年03月11日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【課題】ステージ移動に伴う本体重心位置移動の影響を受けず、外乱振動の抑制効果を維持し、しかも、環境温度の変動を抑える。【解決手段】ステージが移動すると、重心位置の移動により露光本体部40の除振台が傾斜するとともに振動する。非干渉化計算部56では除振台の傾き量に応じて空圧制御部37を介し、位置ゲインを切り替えて、除振パッド4A〜4Dに供給される空気流量を制御する。また、上記空気流量制御とほぼ同時に制御装置11では6つの変位センサ10及び6つの振動センサ5の出力に基づいて振動を抑制するようにアクチュエータ7、32を駆動制御する。従って、除振パッドにより除振台の傾きの全部又は一部を補正できるので、その分アクチュエータで発生すべき推力を抑制することが可能になり、その発熱が抑制される。

請求項（抜粋）：

少なくとも3個の空気式除振パッドを介して水平に保持された除振台と;前記除振台上で移動する少なくとも1つのステージと;前記除振台を異なる箇所で鉛直方向に駆動する少なくとも3つのアクチュエータを含む複数のアクチュエータと;前記除振台の変位を検出する1又は2以上の変位センサと;前記除振台の振動を検出する1又は2以上の振動センサと;前記変位センサおよび振動センサの出力に基づいて前記除振台の振動を抑制するように前記各アクチュエータを駆動制御する第1制御系と;前記除振台の位置制御ループのゲインが可変な空圧制御回路を有し、前記ステージ移動時の重心位置の移動により生じる前記除振台の傾き量に応じて前記位置制御ループのゲインを切り替えて、前記除振パッドに供給される空気流量を制御する第2制御系とを有する除振装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , F16F 15/02 , G05D 19/02

FI (3件)：

H01L 21/30 503 F , F16F 15/02 A , G05D 19/02 D

引用特許：

審査官引用 (9件)

振動除去装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-261926 出願人：株式会社島津製作所
アクティブ振動絶縁装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-119229 出願人：昭和電線電纜株式会社
振動絶縁装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-152406 出願人：昭和電線電纜株式会社

全件表示

前のページに戻る