特許
J-GLOBAL ID：200903070536257695
干渉縞位相検出方法及びそれを用いた干渉計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-271562
公開番号（公開出願番号）：特開平10-096602
出願日： 1996年09月20日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：
【要約】【課題】 装置構成が簡潔で且つ汎用の機器で構成可能な位相シフト電子モアレ法を用いた干渉縞位相検出方法及びそれを用いた干渉計測装置を得ること。【解決手段】 干渉計からの空間的な搬送波を生じせしめた被測定干渉縞画像と、該搬送波とほぼ等しい周波数の干渉縞をもち、且つ夫々初期位相の異なる複数の参照画像との画像間演算によって該被測定干渉縞画像の位相分布を検出する干渉縞位相検出方法において、該干渉計からの干渉縞画像と1 つの参照画像との画像間演算を行い、それより得られる画像信号の高周波成分をカットしてモニタ画面上に出力して該干渉計のアライメントを行うアライメントユニットと、1画面分の該被測定干渉縞画像を記憶保持して、該被測定干渉縞画像と複数の参照画像との画像間演算を行う演算ユニットとを有し、これらのユニットを切り替えて位相分布を検出する。
請求項（抜粋）：
干渉計によって多数の干渉縞を発生させて空間的な搬送波を生じせしめた被測定干渉縞画像と、該搬送波の空間周波数とほぼ等しい周波数の干渉縞をもち、且つ夫々初期位相の異なる複数の参照画像との画像間演算によって該被測定干渉縞画像の位相分布を検出する位相シフト電子モアレ法を用いた干渉縞位相検出方法において、該干渉計からの干渉縞画像と1 つの参照画像との画像間演算をビデオレートで行い、それより得られる画像信号の高周波成分をカットしてモニタ画面上に出力して該干渉計のアライメントを行うアライメントユニットと、1画面分の該被測定干渉縞画像を一旦記憶保持して、該被測定干渉縞画像と複数の参照画像との画像間演算を行う演算ユニットとを用い、これらのユニットを切り替えて該被測定干渉縞画像の位相分布を検出することを特徴とする干渉縞位相検出方法。
IPC (3件)：
G01B 9/02
, G01B 11/24
, G01M 11/00
G01B 9/02
, G01B 11/24 E
, G01M 11/00 L
, G01M 11/00 M
