特許

J-GLOBAL ID：200903070548209459

触針反射器

発明者： 久保 圭司 ,  吉住 恵一 ,  今田 行雄 ,  竹内 博之 ,  半田 宏治
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-092610
公開番号（公開出願番号）：特開2000-283747
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：

【要約】【課題】 光学式測定装置に備えられ、被測定面に追従して移動するとともに測定光を反射させる触針反射器において、反射面の姿勢変動を出来るだけ少なくして、測定精度の低下を防止する。【解決手段】 被測定面で反射された測定光L1 を受光して被測定面の位置情報を得る光学式測定装置に用いられる触針反射器60である。被測定面に当接する接触子62と測定光L1 を反射する反射面とを有する応動部68と、被測定面と直交する方向に間隔をあけて平行に配置され弾力的に変形可能な一対の板片66a、66bを有し、その先端に前記応動部68を支持し、その基端が光学式測定装置20に支持される平行板状支持腕66とを備える。

請求項（抜粋）：

被測定面で反射された測定光を受光して被測定面の位置情報を得る光学式測定装置に用いられる触針反射器であって、前記被測定面に当接する接触子と前記測定光を反射する反射面とを有する応動部と、前記被測定面と直交する方向に間隔をあけて平行に配置され弾力的に変形可能な一対の板片を有し、その先端に前記応動部を支持し、その基端が前記光学式測定装置に支持される平行板状支持腕とを備える触針反射器。

IPC (3件)：

G01B 21/20 ,  G01B 5/20 ,  G01B 11/24

FI (3件)：

G01B 21/20 P ,  G01B 5/20 J ,  G01B 11/24 A

Fターム (42件)：

2F062AA66 ,  2F062BB08 ,  2F062BB14 ,  2F062BC28 ,  2F062CC30 ,  2F062EE01 ,  2F062EE62 ,  2F062FF03 ,  2F062FF17 ,  2F062GG41 ,  2F062GG73 ,  2F062GG75 ,  2F062HH14 ,  2F062HH33 ,  2F065AA30 ,  2F065AA49 ,  2F065CC19 ,  2F065FF09 ,  2F065FF52 ,  2F065GG05 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ15 ,  2F065LL12 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065MM04 ,  2F069AA46 ,  2F069AA60 ,  2F069BB15 ,  2F069CC06 ,  2F069DD30 ,  2F069GG02 ,  2F069GG07 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ06 ,  2F069JJ17 ,  2F069LL03 ,  2F069LL06 ,  2F069MM04

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-087009
  
• 表面状態測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-069885   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 表面観察装置用プローブおよびその製造方法ならびに表面観察装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-170012   出願人：株式会社日立製作所