特許
J-GLOBAL ID：200903070653160805

感活性エネルギー線樹脂組成物、感活性エネルギー線樹脂フィルム及び該フィルムを用いるパターン形成方法

発明者：
市 村 國 宏

市 村 國 宏 について

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森 田 知 之

森 田 知 之 について

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川 延 淳 一

川 延 淳 一 について

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安 達 大 作

安 達 大 作 について

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井 上 和 夫

井 上 和 夫 について


出願人/特許権者：
市村 國宏

市村 國宏 について

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株式会社ムラカミ

株式会社ムラカミ について


代理人 (4件)： 吉武 賢次 ,  中村 行孝 ,  紺野 昭男 ,  横田 修孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-285056
公開番号（公開出願番号）：特開2007-025723
出願日： 2006年10月19日
公開日（公表日）： 2007年02月01日
要約：
【課題】中性水で現像可能な感活性エネルギー線樹脂組成物を提供する。【解決手段】水溶性樹脂の水溶液中に水に不溶性又は難溶性の活性エネルギー線の作用により酸を発生する酸発生剤を微粉状で分散させた分散液に、酸の作用により当該水溶性樹脂を不溶化させる酸反応性不溶化剤を溶解又は分散させることを特徴とする感活性エネルギー線樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
水溶性樹脂の水溶液中に水に不溶性又は難溶性の活性エネルギー線の作用により酸を発生する酸発生剤を微粉状で分散させた分散液に、酸の作用により当該水溶性樹脂を不溶化させる酸反応性不溶化剤を溶解又は分散させることを特徴とする感活性エネルギー線樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/027 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/00
FI (5件)：
G03F7/027 504 ,  G03F7/038 503 ,  G03F7/029 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/00 501
Fターム (26件)：
2H025AA04 ,  2H025AA06 ,  2H025AB06 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC09 ,  2H025BC13 ,  2H025BC23 ,  2H025BD03 ,  2H025BD46 ,  2H025BD53 ,  2H025BE00 ,  2H025BJ03 ,  2H025CA48 ,  2H025CB03 ,  2H025CB04 ,  2H025CB07 ,  2H025CC17 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  2H096AA19 ,  2H096BA06 ,  2H096EA02 ,  2H096FA01 ,  2H096GA08 ,  2H096JA03
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (13件)
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