特許
J-GLOBAL ID:200903070705134883

積層型ガスセンサ素子の製造方法及びこれにより得られる積層型ガスセンサ素子、並びにこれを備えるガスセンサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小島 清路
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-095935
公開番号(公開出願番号):特開2001-281207
出願日: 2000年03月30日
公開日(公表日): 2001年10月10日
要約:
【要約】【課題】 未焼成セラミックシートから得られた外側電極を保護するセラミック多孔質層を備える積層型ガスセンサ素子、及びこの積層型ガスセンサ素子を極めて効率的に安定して得ることのできる製造方法並びにこの積層型ガスセンサ素子を備えるガスセンサを提供する。【解決手段】 アルミナ粉末、バインダ、気孔化剤を含有するペーストを調製し、ドクターブレード法によりシート状に成形した未焼成セラミックシート15を得る。その後、未焼成固体電解質用シート11上に形成された未焼成検知電極パターン13aの電極部パターン131aを覆うように未焼成セラミックシート15を積層・圧着する。次いで、酸素濃淡電池部1及びヒータ部2を一体に焼成して得る。得られたセラミック多孔質層15の層厚は10〜1000μmであり、気孔率が15〜65%である。
請求項(抜粋):
板状の固体電解質層と、該固体電解質層の表面に配設された被検知ガスに接触する外側電極と、該外側電極の少なくとも一部を覆うセラミック多孔質層とを備える積層型ガスセンサ素子の製造方法において、未焼成固体電解質層用シートの表面に形成された未焼成外側電極パターンを覆うように、セラミック多孔質層となるべき未焼成セラミックシートを少なくとも一以上積層する第1工程と、少なくとも該未焼成セラミックシートが積層された未焼成積層体を一体に焼成する第2工程と、を備えることを特徴とする積層型ガスセンサ素子の製造方法。
Fターム (11件):
2G004BB04 ,  2G004BC02 ,  2G004BE04 ,  2G004BE13 ,  2G004BE22 ,  2G004BF18 ,  2G004BF27 ,  2G004BG05 ,  2G004BH09 ,  2G004BJ03 ,  2G004BM07
引用特許:
審査官引用 (5件)
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