特許

J-GLOBAL ID：200903070743889928

センサ

発明者： 森田 靖二 ,  畠山 洋志 ,  青島 滋 ,  藁品 勇
出願人/特許権者： 株式会社山武
代理人 (3件)： 田澤 英昭 ,  加藤 公延 ,  濱田 初音
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-049397
公開番号（公開出願番号）：特開2008-215825
出願日： 2007年02月28日
公開日（公表日）： 2008年09月18日
要約：

【課題】センサチップの実装位置の手直し作業が容易であり、かつシール材の基板面上へはみ出しを防止することができるフローセンサを提供する。【解決手段】実装されたセンサチップ5が段差面から突出する一方、パッケージの外表面には突出しない深さ寸法を有する角穴5Aを設ける。【選択図】図18

請求項（抜粋）：

計測対象の気体を検知するセンサチップと、複数の基板を積層して構成され、格納した前記センサチップのセンサ面に前記計測対象の気体を晒すパッケージ内流路を有するパッケージとを備えたセンサにおいて、 前記パッケージは、段差を有する前記センサチップの実装用の孔部を備え、 前記孔部は、挿入されたセンサチップが段差面から突出する一方、前記パッケージの外表面から突出しない深さ寸法を有することを特徴とするセンサ。

IPC (1件)：

G01F 1/692

FI (1件)：

G01F1/68 104Z

Fターム (1件)：

2F035EA08

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭60-220864号公報
  
• 熱式流量計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-368801   出願人：シーケーディ株式会社
• マイクロフローセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-305696   出願人：株式会社山武