偏向装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松隈秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-173616
公開番号（公開出願番号）：特開平10-069871
出願日： 1997年06月30日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：

【要約】【課題】偏向装置のシールドが、製造が容易でコンパクトな構造となることを目的とする。【解決手段】荷電粒子線(2) のための、特に、荷電粒子装置のための対物レンズに設けられた偏向装置(6) は、荷電粒子線(2) に作用する磁場を生成するための偏向手段(60)と、渦電流を回避するために偏向手段を囲み且つ生成された磁場を案内するシールド(61)と、を有する。シールド(61)は荷電粒子線(2) の方向に対して横切るように少なくとも1つの軟磁性層(61a) よりなり、この軟磁性層(61a) は、好ましくは、ストリップ材より形成され且つ電気的絶縁層(61b) と共に円筒状に巻かれる。

請求項（抜粋）：

荷電粒子線に作用する磁場を生成するための偏向手段(60)と、渦電流を回避するために上記偏向手段を囲み上記生成された外側の磁場を案内するシールド(61)と、を有する荷電粒子線(2) のための偏向装置(6) において、上記シールド(61)は上記荷電粒子線(2) の方向に対して横切るように少なくとも1つの軟磁性層(61a) と電気的絶縁層(61b) とよりなることを特徴とする偏向装置。

IPC (3件)：

H01J 37/147 , H01J 37/141 , H01L 21/027

FI (4件)：

H01J 37/147 B , H01J 37/147 C , H01J 37/141 Z , H01L 21/30 541 B

引用特許：

審査官引用 (12件)

磁気共鳴画像形成装置(MRI)磁石
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-233636 出願人：オックスフォードマグネットテクノロジーリミテッド
電子ビーム露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-047522 出願人：富士通株式会社
特開昭51-108398

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