特許
J-GLOBAL ID：200903070760941089
光透過性基板の検査方法および検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
藤本 昇
, 鈴木 活人
, 薬丸 誠一
, 中谷 寛昭
, 大中 実
, 岩田 徳哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-041248
公開番号（公開出願番号）：特開2004-251706
出願日： 2003年02月19日
公開日（公表日）： 2004年09月09日
要約：
【課題】消滅可能な基板表面の欠陥の検出を抑制し、基板内部の欠陥の検出を有効に行うことのできる光透過性基板の検査方法およびその検査装置を提供する。【解決手段】光透過性を有する光透過性液体1中に検査対象であるガラス基板等の光透過性基板2を浸漬させ、基板側面から当該基板表面に対して略平行な検査光Lを入射する。そして、光透過性基板2の基板表面方向Cから観察して検査光Lにより浮かび上がった欠陥の有無を検査する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光透過性液体中に光透過性基板を浸漬させた状態で、前記光透過性基板の基板側面から当該基板表面に対して略平行な検査光を入射し、前記光透過性基板を前記基板表面方向から観察することを特徴とする光透過性基板の検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
2G051AA84
, 2G051AB06
, 2G051BA20
, 2G051CA11
, 2G051CB01
, 2G086EE10
