特許

J-GLOBAL ID：200903070760983130

微小電気機械スイッチ

発明者： デービッド・アール・グリーンバーグ ,  ハリクリア・デリジアニ ,  ロバート・エイ・グローブス ,  クリストファー・ブイ・ジャーネス ,  ジェニファー・エル・ルンド ,  キャサリン・エル・サエンジャー ,  リチャード・ピー・ヴォラント
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
代理人 (1件)： 坂口 博 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-330991
公開番号（公開出願番号）：特開2003-249137
出願日： 2002年11月14日
公開日（公表日）： 2003年09月05日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 静止摩擦に打ち勝つのに十分大きな復元力を有する微小電気機械スイッチを提供する。【解決手段】 本発明に係る微小電気機械スイッチは、そり可能で導電性を有する梁10と、弾性的に変形可能な導電層11で被覆した複数の電極とを備えている。復元力は、まず、そり可能な梁10と、スイッチ電極13と同一平面をなす制御電極12との間に制御電圧を印加することにより、梁10による単一のばね定数k0によって生成される。次いで、微小電気機械スイッチが閉状態に近づき上記導電層11が圧縮されると、変形可能な複数の導電層11が有する追加のばね定数k1、・・・、knによる復元力が梁10のばね定数k0による復元力に順次加算される。別の実例では、変形可能な層の代わりに、変形可能なばね状素子を用いる。さらに別の実例では、圧縮可能な層または変形可能なばね状素子が、スイッチ電極が対面するそり梁に取り付けられている。

請求項（抜粋）：

少なくとも1つのコンタクト電極と、そり梁であって、前記そり梁は、当該そり梁の少なくとも一方の端に、または、前記コンタクト電極の少なくとも1つに固定された圧縮可能かつ変形可能な手段によって前記少なくとも1つのコンタクト電極と接触する、そり梁とを備えた微小電気機械スイッチ。

IPC (3件)：

H01H 1/26 ,  B81B 3/00 ,  H01H 59/00

FI (3件)：

H01H 1/26 A ,  B81B 3/00 ,  H01H 59/00

Fターム (3件)：

5G051HA03 ,  5G051HA14 ,  5G051HA15

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 能動的オンオフ状態制御を備えた単極単投マイクロ電子機械的スイッチ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-221321   出願人：ヒューズ・エレクトロニクス・コーポレーション
• マイクロリレー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-157880   出願人：オムロン株式会社
• 電気回路開閉装置用接点及び電気回路開閉装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-082759   出願人：ティーディーケイ株式会社
• 感圧素子並びにそれを用いたタッチパネル及び液晶表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-038676   出願人：株式会社フジクラ