特許

J-GLOBAL ID：200903070777886081

研磨用発泡シート及びその製造方法

発明者： 堀江 祐二 ,  奥山 弘光 ,  濱田 直之
出願人/特許権者： 日本ミクロコーティング株式会社
代理人 (1件)： 竹内 澄夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-138972
公開番号（公開出願番号）：特開2002-331451
出願日： 2001年05月09日
公開日（公表日）： 2002年11月19日
要約：

【要約】【課題】平均粒径0.1μm以下の研磨粒子を使用する遊離砥粒研磨において、より高い研磨力でより平滑に研磨できる研磨用発泡シート及びその製造方法を提供する。【解決手段】賦形フィルム11の表面に発泡性樹脂からなる発泡性塗料を塗布し、この発泡性塗料を湿式発泡させて賦形フィルムの表面に発泡シート10を形成し、この発泡シートを賦形フィルムの表面から剥離し、発泡シートの表面に賦形フィルムの表面に沿った形状の研磨面12を形成することにより製造される研磨用発泡シート及びその製造方法。

請求項（抜粋）：

研磨用発泡シートの製造方法であって、(1)賦形フィルムの表面に発泡性樹脂からなる発泡性塗料を塗布する工程、(2)湿式発泡法により、前記発泡性塗料を発泡させ、前記賦形フィルムの表面に発泡シートを形成する工程、及び(3)前記発泡シートを前記賦形フィルムの表面から剥離し、前記発泡シート表面に前記賦形フィルムの表面に沿った形状の研磨面を形成する工程、から成る製造方法。

IPC (4件)：

B24B 37/00 ,  B29C 41/24 ,  C09D 5/00 ,  C09D175/04

FI (4件)：

B24B 37/00 C ,  B29C 41/24 ,  C09D 5/00 Z ,  C09D175/04

Fターム (27件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17 ,  4F205AA42 ,  4F205AB02 ,  4F205AG01 ,  4F205AG05 ,  4F205AG20 ,  4F205AJ03 ,  4F205GA07 ,  4F205GB02 ,  4F205GC06 ,  4F205GF04 ,  4F205GF24 ,  4F205GN28 ,  4J038DG001 ,  4J038HA026 ,  4J038HA216 ,  4J038HA436 ,  4J038HA446 ,  4J038KA06 ,  4J038KA08 ,  4J038PB03 ,  4J038PC08

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 精密研磨用パッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-349924   出願人：千代田株式会社
• 研磨テープ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-262966   出願人：大日本印刷株式会社
• 特公昭45-019232
  
• 特公昭45-019232