特許
J-GLOBAL ID：200903070796370789

低圧誘導結合高密度プラズマリアクター

発明者：
ブラロック,ガイ,ティー

ブラロック,ガイ,ティー について

, 
ドノホー,ケビン,ジー

ドノホー,ケビン,ジー について


出願人/特許権者：
マイクロン・テクノロジー・インコーポレーテッド

マイクロン・テクノロジー・インコーポレーテッド について


代理人 (1件)： 加藤 紘一郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-533888
公開番号（公開出願番号）：特表2002-505517
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2002年02月19日
要約：
【要約】プラズマリアクターは、電磁エネルギー源が第1及び第2の可変インピーダンス回路網を介して放射器に結合されたものである。プラズマリアクターは、放射器に隣接する誘電体の窓を備えたチェンバーを有する。遮蔽体が放射器と誘電体の窓との間に配置されている。遮蔽体は、放射器の誘電体の窓に隣接する表面を実質的に覆う。遮蔽体により覆われない放射器の部分は、チェンバーの導電性の壁に近い所にある。プラズマリアクターの動作は、実質的に容量性電気エネルギーを放射器から結合してチェンバー内でプラズマを点火し、可変インピーダンス回路網のチェンバーに結合される容量性電気エネルギーが減少するように同調し、その後プラズマを実質的に磁気エネルギーで駆動するステップを含む。
請求項（抜粋）：
電磁エネルギー源と、 第1及び第2の可変インピーダンス回路網により電磁エネルギー源に作動的に結合した放射器と、 放射器に隣接する窓を有するチェンバーと、 放射器と誘電体の窓との間に位置して、誘電体の窓に近い放射器の表面を実質的に覆う遮蔽体とより成り、 遮蔽体により覆われていない放射器の部分がチェンバーの導電性の壁に近いプラズマリアクター。
IPC (5件)：
H01L 21/205 ,  C23C 16/505 ,  H01J 37/32 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/46
FI (5件)：
H01L 21/205 ,  C23C 16/505 ,  H01J 37/32 ,  H05H 1/46 L ,  H01L 21/302 B
Fターム (26件)：
4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030FA04 ,  4K030JA09 ,  4K030JA18 ,  4K030KA15 ,  4K030KA30 ,  4K030KA45 ,  5F004AA01 ,  5F004BA20 ,  5F004BB13 ,  5F004BB18 ,  5F004BB29 ,  5F004BC08 ,  5F004CA03 ,  5F004CA06 ,  5F004CA07 ,  5F045AA08 ,  5F045AE17 ,  5F045EB02 ,  5F045EB03 ,  5F045EC05 ,  5F045EH03 ,  5F045EH11 ,  5F045EH12 ,  5F045EH19
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)

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