特許
J-GLOBAL ID：200903070799499510
圧電素子の周波数調整装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡部 正夫 (外10名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-330790
公開番号（公開出願番号）：特開2003-204236
出願日： 1999年05月14日
公開日（公表日）： 2003年07月18日
要約：
【要約】【課題】 イオンビームエッチングによって水晶振動子の周波数を正確に調整する事が出来る水晶振動子の周波数調整装置を提供することを目的としている。【解決手段】 本発明の水晶振動子の周波数調整方法を実施する装置は、真空容器内に、陽極と熱陰極を有するイオンガンを有し、この陽極と熱陰極の間の放電電流をモニタする機構と、この放電電流を一定に保つ様に、熱陰極の電力を制御する機構を持つ装置構成とした。これによって、水晶振動子の周波数調整のイオンビームエッチング終了後の周波数戻りシフト量を一定にすることができ、高精度の周波数調整が可能となった。
請求項（抜粋）：
真空室内に電極を有する圧電素子を配置し、熱陰極を有するイオンガンにて該圧電素子上の電極をイオンビームエッチングし、そして該エッチングされている圧電素子の共振周波数をモニタする圧電素子の周波数調整方法において、該エッチングによる圧電素子の周波数調整時に、該イオンガンの熱陰極からの熱電子放出量を可変的に制御する事により該イオンビーム電流密度を時間経過に対し一定にしており、該イオンガンの放電電源として定電圧源を用い、該イオンガンの放電電流をモニタして該モニタされた放電電流が一定に保たれるよう該熱陰極からの熱電子放出量を可変的に制御している方法。
IPC (3件)：
H03H 3/04
, H01L 21/302 201
, H03H 9/02
H03H 3/04 B
, H03H 3/04 A
, H01L 21/302 201 B
, H03H 9/02 M
5F004AA01
, 5F004BA11
, 5F004BC08
, 5F004CA09
, 5F004CB05
, 5F004DB08
, 5F004EB02
, 5J108NB02
