特許
J-GLOBAL ID：200903090530564210
圧電素子、圧電振動子、その製造方法および加工装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-318928
公開番号（公開出願番号）：特開平8-181558
出願日： 1994年12月21日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：
【要約】【目的】 プラズマを用いて周波数を調整する方法を実際に用いて圧電素子を効率良く製造するために、照射中の共振周波数をモニター可能とし、さらに、安定した状態の照射源を用いて加工レートを調整可能とする。【構成】 圧電素子3にコイル22によって直流成分をアース側に流せるようにしたフィクスチャーを接続し、照射中でも共振周波数をネットワークアナライザ1で測定可能とする。さらに、測定された共振周波数を演算処理装置15で処理し、圧電素子3とイオンガン9の距離を制御して、適当な加工レートで電極の減厚を図り、高精度の周波数の合わせ込みを可能とする。
請求項（抜粋）：
圧電素子の表面の少なくとも1部に形成された電極の少なくとも1部にイオン化された粒子を照射する手段と、前記圧電素子の周波数を測定可能な測定手段と、前記圧電素子の電極に対し低周波数成分を除去して前記測定手段を接続する接続手段とを有すること特徴とする圧電素子の加工装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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