薬液定量注入装置および方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：福森久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-234721
公開番号（公開出願番号）：特開平11-070328
出願日： 1997年08月29日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：

【要約】【課題】本発明は、無発塵で薬液を超純水に注入することができ、また、洗浄ノズルへの薬液の注入間隔を数秒〜10数秒の秒単位に制御し、薬液種類の切り替え、超純水洗浄への切り替えなどは1秒程度の短時間で行うことを可能たらしめる薬液定量注入装置を提供する。【解決手段】本発明は、被洗浄物の表面の洗浄を枚葉的に行う枚葉洗浄装置に超純水を供給するための超純水流路1に各種類の薬液3を注入するための薬液定量注入装置2であって、該薬液3を保有するための薬液保有部を有する薬液注入系4と、該薬液保有部の薬液の圧力を一定間隔で制御するための[加減圧制御系]5と、前記薬液の圧力の制御に連動して、前記薬液注入系4から超純水流路1への薬液の継続的な注入および瞬間的な混合動作と、注入停止動作とが行われるように構成された[注入制御系]6と、前記薬液の制御に連動して薬液源7から薬液保有部に薬液を補充し得るように構成された[薬液補充系]8と、を有していることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被洗浄物の表面の洗浄を枚葉的に行う枚葉洗浄装置に超純水を供給するための超純水流路に各種類の薬液を定量的かつ瞬間的に注入し高精度で均一組成の洗浄液を洗浄ノズルに供給するための薬液定量注入装置であって、該薬液を保有するための薬液保有部を有する薬液注入系と、該薬液保有部の薬液の圧力を一定間隔で制御するための[加減圧制御系]と、前記薬液の圧力の制御に連動して、前記薬液注入系から超純水流路への薬液の継続的な注入および瞬間的な混合動作と、注入停止動作とが行われるように構成された[注入制御系]と、前記薬液の制御に連動して薬液源から薬液保有部に薬液を補充し得るように構成された[薬液補充系]と、を有していることを特徴とする薬液自動定量注入装置。

IPC (2件)：

B01J 4/02 , H01L 21/304 341

FI (2件)：

B01J 4/02 B , H01L 21/304 341 C

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平3-072626
枚葉処理装置とその使用方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-303405 出願人：松下電器産業株式会社
洗浄液供給系及び供給方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-156241 出願人：株式会社ウルトラクリーンテクノロジー開発研究所, 株式会社ベンカン, 大見忠弘

審査官引用 (3件)

特開平3-072626
枚葉処理装置とその使用方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-303405 出願人：松下電器産業株式会社
洗浄液供給系及び供給方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-156241 出願人：株式会社ウルトラクリーンテクノロジー開発研究所, 株式会社ベンカン, 大見忠弘

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