特許
J-GLOBAL ID：200903019280785502
枚葉処理装置とその使用方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-303405
公開番号（公開出願番号）：特開平10-144647
出願日： 1996年11月15日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：
【要約】【課題】 枚葉処理装置において洗浄状態を正確に測定するとともに純水の使用量の適正化を図る。【解決手段】 水洗室4の入口側の側壁に設けられた基板搬入口としての連通孔54と出口側の側壁に設けられた基板搬出口としての連通孔55をそれぞれ開閉するゲートバルブ64、65を設置し、反応室2からの薬液ミストや乾燥室5からの大気を含んだ空気が水洗室4に侵入して処理水に溶け込むのを防止する。これにより、薬液の除去状態が正確に評価できて、不良の発生や信頼性上の品質問題を回避できるとともに、純水の使用量の削減が可能となる。
請求項（抜粋）：
少なくとも搬入された基板に反応液を供給して化学処理を行う反応室と、上記反応室の基板搬出側に隣接して設けられ化学処理が施された基板に純水を供給して洗浄を行う水洗室と、上記水洗室の基板搬出側に隣接して設けられた乾燥室とを有する枚葉処理装置において、上記反応室と水洗室および上記水洗室と乾燥室とが各々連通孔を介して連結されるとともに、上記水洗室の基板搬入側と基板搬出側とに上記連通孔を開閉する第1と第2のゲートバルブを有するとともに、上記水洗室の処理水の純度を測定する手段を備えてなる枚葉処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 351
, H01L 21/306
H01L 21/304 351 C
, H01L 21/306 R
