特許

J-GLOBAL ID：200903070839070067

力センサ

発明者： ヴォルフガング ゴルデラー ,  アンドレアス レッピッヒ ,  マンフレート モーザー ,  アネッテ ザイボルト ,  ライナー シュッツ
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-003672
公開番号（公開出願番号）：特開平9-196787
出願日： 1997年01月13日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】 測定ダイアフラムの老化による測定誤差を検出し、修正できるようにする。【解決手段】 測定ダイアフラム18に、力センサ10に統合された装置26を配属し、この装置26が、外力Fとは無関係に、測定ダイアフラム18の一定の変位を可能にする。

請求項（抜粋）：

力センサ、特に圧力センサであって、少なくとも1個の測定ダイアフラムを有し、この測定ダイアフラムが、検出したい変動する力により変位を生じる形式のものにおいて、測定ダイアフラム(18)には、力センサ(10)に組み込まれた装置(26)が配属されており、この装置(26)が、外力Fとは無関係に、測定ダイアフラム(18)の一定の変位を可能にすることを特徴とする、力センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/12 ,  G01L 25/00

FI (2件)：

G01L 9/12 ,  G01L 25/00 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 圧電素子を用いた力・加速度・磁気のセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-207118   出願人：岡田和廣
• 特開平1-216276
  
• 物理量センサおよび物理量センサシステム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-159497   出願人：株式会社日立製作所