特許
J-GLOBAL ID：200903070932012190
表面形状の計測装置および計測方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
関 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-369351
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183117
出願日： 1999年12月27日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：
【要約】【課題】 光ビーム走査式の表面形状の計測において、信号解析が容易で、外乱の影響が大きい場合にも正確な形状計測ができ、装置を小型かつ安価にしうる三次元形状の計測装置および計測方法を提供する。【解決手段】 レーザ投光器1と、ミラーの回転によりレーザ光を走査するレーザスキャナ4と、被測定物表面からの反射光を受光して距離情報を与える距離計測用受光素子5と、レーザスキャナの回転角検出手段3とを配し、距離計測用受光素子およびミラーの回転角検出手段の両出力信号を同期して時系列的に取得して形状解析を行う。また、ミラーの回転機構として汎用モータ12とクランク機構13とを用い、レーザスキャナ4の回転角検出手段3として、光学的計測手段又はポテンショメータ等の軸の回転を直接計測する手段を用いる。
請求項（抜粋）：
被測定物にレーザスポット光を投光するレーザ投光器と、被測定物表面で散乱反射した前記レーザスポット光の反射光を受光して被測定物表面までの距離に関する情報を与える距離計測用受光素子と、前記レーザ投光器および前記距離計測定用受光素子と前記被測定物との間に介装され前記投光するレーザスポット光と受光するレーザスポット光を反射する回転ミラーを有して被測定物上でレーザスポット光を走査させるレーザスキャナと、該レーザスキャナを回転駆動する回転機構と、該レーザスキャナの傾斜角度を検出する回転角検出機構とを有し、前記距離計測用受光素子が走査中の各方向について所定の間隔で与える出力信号とこれに同期して取得される前記回転角検出機構の出力信号に基づいて被測定物の表面形状を計測する表面形状の計測装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01B 11/00
, G01B 11/26
G01B 11/00 B
, G01B 11/26 Z
, G01B 11/24 A
2F065AA02
, 2F065AA04
, 2F065AA22
, 2F065AA39
, 2F065AA45
, 2F065DD02
, 2F065FF09
, 2F065FF66
, 2F065GG04
, 2F065HH04
, 2F065JJ02
, 2F065JJ16
, 2F065JJ25
, 2F065LL13
, 2F065MM16
, 2F065QQ03
