投影式露光機

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-167581
公開番号（公開出願番号）：特開平7-029788
出願日： 1993年07月07日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：

【要約】【目的】投影式露光機において、変形照明用アパーチャーの変更の際、光学系内でのパーティクルの発生をなくし、かつレシピによる指定のみで個々のレチクルパターンに対して最良の解像力および焦点深度を得るようにする。【構成】紫外線発光ランプ1より出力された照明光4は、楕円反射鏡2、平面反射鏡3により集光、反射され、インプットレンズ5、フライアイレンズ6を通過した後、レチクルパターンに最適の光束の大きさ及び形状に変更するための変形照明用液晶アパーチャー13を通過し、平面反射鏡7にて反射し、コンデンサーレンズ8にて集光され、レチクル9、投影レンズ10を通過し、レチクルパターンを被処理物11へ投影させる。変形照明用アパーチャーとしては液晶シャッターの原理を用いた変形照明用液晶アパーチャー13を使用し、液晶を制御動作させて照明光4の光束の大きさ及び形状を変更する。

請求項（抜粋）：

照明光を出力するための照明光学系と、照明光のコヒーレント性を減じるためのフライアイと、露光パターンを規定するための露光マスクと、前記露光パターンを被処理物に投影するための投影光学系とを有する投影式露光機において、前記フライアイの付近にこのフライアイを通過した照明光の光束の大きさ及び形状を光学的に制御可能な変形照明用アパーチャーを備えたことを特徴とする投影式露光機。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03B 27/54 , G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (2件)

投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-028372 出願人：株式会社ニコン
投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-185299 出願人：三菱電機株式会社

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