特許
J-GLOBAL ID：200903071003838340
表示装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-322104
公開番号（公開出願番号）：特開2007-184251
出願日： 2006年11月29日
公開日（公表日）： 2007年07月19日
要約：
【課題】封止特性および段差側壁の被覆性良好な保護膜によって発光素子を保護することが可能で、これにより発光素子の劣化を防止して表示特性を良好に維持することが可能な表示装置を提供する。【解決手段】基板2上に設けられた有機電界発光素子3を保護膜4で覆ってなる表示装置1において、保護膜4は、アンモニアガスを用いた化学的気相成長法によって成膜された窒化シリコン膜4a,4b,4cを積層してなると共に、当該保護膜4の表面層に高密度窒化シリコン膜4cが設けられ、その下層にこれよりも低密度の低密度窒化シリコン膜4bが設けられていることを特徴としている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板上に設けられた発光素子を保護膜で覆ってなる表示装置において、
前記保護膜は、
アンモニアガスを用いた化学的気相成長法によって成膜された膜密度が異なる窒化シリコン膜を積層してなると共に、当該保護膜における表面層の窒化シリコン膜がその下層の窒化シリコン膜よりも高密度に構成されている
ことを特徴とする表示装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (11件)：
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC05
, 3K107CC08
, 3K107CC21
, 3K107CC23
, 3K107CC27
, 3K107DD03
, 3K107EE48
, 3K107EE50
, 3K107GG03
出願人引用 (2件)
審査官引用 (5件)
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