特許

J-GLOBAL ID：200903071048785743

多孔質薄膜の製造方法、及び機能性薄膜

発明者： 根岸 敏夫
出願人/特許権者： 日本真空技術株式会社
代理人 (1件)： 石島 茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-003934
公開番号（公開出願番号）：特開2000-203886
出願日： 1999年01月11日
公開日（公表日）： 2000年07月25日
要約：

【要約】【課題】酸化チタン薄膜と多孔質薄膜とで機能性薄膜を構成させる。【解決手段】酸化チタン薄膜13表面に有機化合物を含有する薄膜14を形成し、紫外線を照射して有機化合物を分解除去し、酸化チタン薄膜13表面に親水性の多孔質薄膜15を形成する。多孔質薄膜15の孔19底面に酸化チタン薄膜13表面が露出しているので、酸化チタン薄膜15の光触媒機能と、多孔質薄膜14の親水性を併せ持つ機能性薄膜2が得られる。

請求項（抜粋）：

無機元素を構造中に有する有機化合物を薄膜材料とし、真空雰囲気中に前記薄膜材料の蒸気を放出させ、酸化チタン薄膜表面に薄膜を形成した後、前記薄膜に紫外線を照射し、前記薄膜を多孔質化することを特徴とする多孔質薄膜の製造方法。

IPC (2件)：

C03C 17/34 ,  B01J 35/02

FI (2件)：

C03C 17/34 Z ,  B01J 35/02 J

Fターム (29件)：

4G059AA01 ,  4G059AC21 ,  4G059AC22 ,  4G059EA04 ,  4G059EB01 ,  4G059GA01 ,  4G059GA04 ,  4G059GA12 ,  4G069AA03 ,  4G069AA08 ,  4G069BA03A ,  4G069BA03B ,  4G069BA04A ,  4G069BA04B ,  4G069BA14A ,  4G069BA14B ,  4G069BA27A ,  4G069BA27B ,  4G069BA27C ,  4G069BA48A ,  4G069CA10 ,  4G069CA11 ,  4G069DA05 ,  4G069EA08 ,  4G069ED01 ,  4G069ED02 ,  4G069FA03 ,  4G069FB03 ,  4G069FC05

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 低反射ガラス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-140796   出願人：セントラル硝子株式会社
• 防曇素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-215212   出願人：株式会社村上開明堂
• 防曇ガラス、及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-142879   出願人：日本パーカライジング株式会社
• 防曇鏡およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-234981   出願人：株式会社村上開明堂