ブレードカバー

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：佐々木功 , 川村恭子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-181571
公開番号（公開出願番号）：特開2004-031415
出願日： 2002年06月21日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：

【課題】ノズルから切削水を供給しながら切削ブレードを用いて切削を行う場合において、切削ブレードの切り刃部の磨耗に伴う各ノズルの位置の調整を能率良く行う。【解決手段】スピンドルハウジング19によって回転可能に支持されたスピンドル18に装着されて被加工物を切削する切削ブレード21に切削液を供給するブレードカバー24を、スピンドルハウジング19に固定される固定基台27と、固定基台27に対して移動可能に配設される移動基台28とから構成し、移動基台28には、切削ブレード21の表面に切削液を供給する表面ノズル32と、切削ブレード21の裏面に切削液を供給する裏面ノズル29と、切削ブレード21の切り刃外周部に切削液を供給する端部ノズル30とを配設し、表面ノズル32と裏面ノズル29と端部ノズル30とが移動基台28の移動に伴って移動するように構成し、移動基台28の移動のみによって全ノズルの位置を調整できるようにする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

スピンドルハウジングによって回転可能に支持されたスピンドルに装着されて被加工物を切削する切削ブレードに、切削液を供給するブレードカバーであって、スピンドルハウジングに固定される固定基台と、該固定基台に対して移動可能に配設される移動基台とから構成され、該移動基台には、切削ブレードの表面に切削液を供給する表面ノズルと、該切削ブレードの裏面に切削液を供給する裏面ノズルと、該切削ブレードの切り刃外周部に切削液を供給する端部ノズルとが配設され、該表面ノズルと該裏面ノズルと該端部ノズルとが該移動基台の移動に伴って移動するように構成したブレードカバー。

IPC (3件)：

H01L21/301 , B24B55/02 , B24B55/04

FI (3件)：

H01L21/78 F , B24B55/02 D , B24B55/04 Z

Fターム (3件)：

3C047FF06 , 3C047FF15 , 3C047GG03

引用特許：

出願人引用 (6件)

ダイシング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-054974 出願人：株式会社東京精密
切削装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-192312 出願人：株式会社ディスコ
切削装置のブレードカバー
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-195623 出願人：株式会社ディスコ

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審査官引用 (2件)

ダイシング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-054974 出願人：株式会社東京精密
切削装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-192312 出願人：株式会社ディスコ

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