特許
J-GLOBAL ID：200903071119903912

圧電デバイスとその製造方法

発明者：
小阪 彰伯

小阪 彰伯 について


出願人/特許権者：
シチズン時計株式会社

シチズン時計株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-271131
公開番号（公開出願番号）：特開2003-087088
出願日： 2001年09月07日
公開日（公表日）： 2003年03月20日
要約：
【要約】【課題】 水晶片の一部の板厚を薄く加工して断面で凹形状を加工し高い共振周波数を得たり、センサーなどに利用するときに、高速に水晶を加工できるウエットエッチングは大量に処理でき有効な手段だが、安定した電気的特性や、薄板部の予想した再現性ある変形を得るため、薄板部主面と枠部主面との間に位置する凹み側面をほぼ同様に形成し、予期した形状に再現性よく加工する。【解決手段】 水晶の板の主面に三角形の形状で窓を開けて保護膜を形成した後、ウエットエッチングすることで窓の部分が溶解され薄板化し凹形状に加工し、薄板部が主面より見て三角形であるよう加工する。
請求項（抜粋）：
主面の一部の板厚を薄く加工した薄板部と前記一部を除く板厚の厚い枠部からなる水晶片と、前記薄板部の両面にそれぞれ設けられた電極を有する圧電デバイスにおいて、前記薄板部が主面に垂直な方向より見てほぼ三角形であることを特徴とする圧電デバイス。
IPC (5件)：
H03H 9/19 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  H03H 3/02
FI (5件)：
H03H 9/19 E ,  H03H 3/02 B ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 Z ,  H01L 41/18 101 A
Fターム (11件)：
5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108CC09 ,  5J108CC11 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE18 ,  5J108GG03 ,  5J108GG08 ,  5J108GG15 ,  5J108GG16
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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