半導体装置およびその作製方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-057344
公開番号（公開出願番号）：特開2000-353809
出願日： 2000年03月02日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
要約：

【要約】【課題】動作性能および信頼性の高い半導体装置を提供する。【解決手段】有機樹脂膜376上に、陽極酸化可能な材料からなる電極377、378と、その陽極酸化膜378と、その上の画素電極379〜382とで画素容量を形成する。この陽極酸化膜は、単位時間当たりの印加電圧が15V/minで陽極酸化され、電極配線の回り込みがないため、膜剥がれを防止できる。

請求項（抜粋）：

有機樹脂膜上に第1の電極と、該第1の電極の表面の少なくとも一部に酸化膜と、該酸化膜の少なくとも一部を覆って第2の電極とからなる容量を備えていることを特徴とする半導体装置。

IPC (8件)：

H01L 29/786 , G02F 1/13 505 , G02F 1/1368 , G09F 9/30 338 , H01L 21/316 , H01L 21/3205 , H01L 27/04 , H01L 21/822

FI (8件)：

H01L 29/78 619 B , G02F 1/13 505 , G09F 9/30 338 , H01L 21/316 T , G02F 1/136 500 , H01L 21/88 S , H01L 27/04 C , H01L 29/78 612 A

引用特許：

審査官引用 (7件)

液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-194451 出願人：シャープ株式会社
特開平4-163528
液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置の構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-099795 出願人：エルジー電子株式会社

全件表示

前のページに戻る