ガス検出方法及びガス検出装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：竹内尚恒 , 小林良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-091899
公開番号（公開出願番号）：特開2006-275606
出願日： 2005年03月28日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：

【課題】金属酸化物半導体ガスセンサで温度変化に対する動的応答からガス成分の種類に関する情報と濃度に関する情報とを良好に分離して取り出すことで、単一のガスセンサにおけるガス成分の同定の正確性を向上させる。【解決手段】ガスセンサ10の温度を変化させたときのその動的応答波形を時間に関して微分して得たn次(n=1、2、...)微分波形は、濃度に依らずガス成分毎に異なる位置の固定点を通過するため、この固定点を各ガス成分毎に予め測定して固定点情報記憶部25に格納しておく。成分が未知である試料ガスを分析する際には、ガスセンサ10の温度を変化させたときの動的応答波形を取得し微分演算処理部22でn次微分を行い、ガス種判別処理部23はn次微分波形が固定点情報記憶部25に格納されているいずれの固定点を通過するのかを判定し、その結果に基づいてガス成分を同定する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

金属酸化物半導体を利用したガスセンサにより未知の成分を含むガスを検出して少なくともその成分を同定するためのガス検出方法において、 a)前記ガスセンサに試料ガスが晒された状態の下で、該ガスセンサの温度をその応答動作可能な範囲内で変化させ、 b)その温度変化に応じた前記ガスセンサの検出信号の動的応答を測定し、 c)その動的応答波形の時間に関するn次微分(n=1、2、...)波形と、該n次微分波形が描かれるグラフ上に設定された、濃度の相違する同一ガス成分に対するn次微分波形のいずれもが共通に通過し且つガス成分の種類毎には一致しないような固定点と、の関係に基づいて前記試料ガスに含まれるガス成分を同定する、ことを特徴とするガス検出方法。

IPC (1件)：

G01N 27/12

FI (1件)：

G01N27/12 A

Fターム (5件)：

2G046AA01 , 2G046AA24 , 2G046BA09 , 2G046FB02 , 2G046FE39

引用特許：

出願人引用 (4件)

におい測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-174035 出願人：株式会社島津製作所
特開平1-123848号公報
特開平3-123848号公報

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審査官引用 (5件)

特開平1-311261
ガス検出方法とその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-037934 出願人：フィガロ技研株式会社
特開昭58-189547

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