特許

J-GLOBAL ID：200903071167940595

セラミック電子部品の電極パターン形成方法及び誘電体共振器の入出力電極形成方法

発明者： 池本 孝志 ,  川口 智
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 宮▼崎▲ 主税 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-305933
公開番号（公開出願番号）：特開平10-245286
出願日： 1997年11月07日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：

【要約】【課題】 セラミック焼結体の外表面に、複数の導電部からなる電極パターンを簡単な工程で安価にかつ高精度に形成することを可能とする電極パターン形成方法を得る。【解決手段】 セラミック焼結体としての誘電体ブロック1の外表面に導電膜を形成した後、導電膜上にマスク8を被せブラスト装置により砥材を投射し、マスクの開口部において導電膜を部分的に除去することにより電極パターンを形成する、セラミック電子部品の電極パターン形成方法。

請求項（抜粋）：

セラミック焼結体の表面に形成された導電膜を部分的に除去して電極パターンを形成する方法において、セラミック焼結体表面に導電膜を形成する工程と、前記導電膜上に、開口部を有しかつ導電膜上に対して着脱自在のマスクを被せてブラスト装置により砥材を投射し、マスクの開口部において導電膜を部分的に除去することにより電極パターンを形成する工程と、マスクを導電膜上から取り外す工程とを備えることを特徴とするセラミック電子部品の電極パターン形成方法。

IPC (4件)：

C04B 41/88 ,  H01P 1/205 ,  H01P 11/00 ,  H05K 3/04

FI (4件)：

C04B 41/88 P ,  H01P 1/205 B ,  H01P 11/00 K ,  H05K 3/04 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 電極形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-131220   出願人：ティーディーケイ株式会社
• 電鋳マスクを用いた噴射加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-295250   出願人：シチズン時計株式会社
• 特開昭63-251168
  
• 特開平4-030969