特許
J-GLOBAL ID：200903071184236133
回路基板検査方法および回路基板検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 伸司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-197513
公開番号（公開出願番号）：特開2002-014135
出願日： 2000年06月30日
公開日（公表日）： 2002年01月18日
要約：
【要約】【課題】 導体パターンの良否検査に対する信頼性を向上させることが可能な回路基板検査方法を提供する。【解決手段】 検査対象の回路基板Pに形成された導体パターン21に接触型プローブ3を接触させ、導体パターン21および基準電極2b間の静電容量を測定し、その測定した静電容量に基づいて導体パターン21の良否を検査する回路基板検査方法において、接触型プローブ3を介して導体パターン21の一端および基準電極2b間に所定量の電荷を供給し、その供給を停止した後において、その導体パターン21の他端および基準電極2b間の電圧を測定し、その測定した電圧に基づいて導体パターン21の断線を検査する。
請求項（抜粋）：
検査対象の回路基板に形成された導体パターンに接触型プローブを接触させ、当該導体パターンおよび基準電極間の静電容量を測定し、その測定した静電容量に基づいて前記導体パターンの良否を検査する回路基板検査方法において、前記接触型プローブを介して前記導体パターンの一端および前記基準電極間に所定量の電荷を供給し、その供給を停止した後において、その導体パターンの他端および前記基準電極間の電圧を測定し、その測定した電圧に基づいて導体パターンの断線を検査することを特徴とする回路基板検査方法。
IPC (4件)：
G01R 31/02
, G01R 1/06
, G01R 31/28
, H05K 3/00
G01R 31/02
, G01R 1/06 E
, H05K 3/00 T
, G01R 31/28 K
2G011AA02
, 2G011AB04
, 2G011AC06
, 2G011AE01
, 2G011AF06
, 2G011AF07
, 2G014AA02
, 2G014AA03
, 2G014AB59
, 2G014AC09
, 2G014AC10
, 2G014AC18
, 2G032AA00
, 2G032AD08
, 2G032AE08
, 2G032AE12
, 2G032AF02
, 2G032AF04
, 2G032AL00
