特許
J-GLOBAL ID：200903071187597749
薄膜トランジスタ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂口 博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-069911
公開番号（公開出願番号）：特開平10-270711
出願日： 1998年03月19日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：
【要約】【課題】 プラスチック基板上に作製され、従来のガラス基板上に作製されたディスプレイよりもフレキシブルで、より軽量で、かつより大きい衝撃抵抗を有するディスプレイを提供する。【解決手段】 薄膜トランジスタ50は、ゲート電極56と、ゲート絶縁体層58と、ゲート絶縁体層58の上部に付着された半導体チャネル層60と、チャネル層60の上に付着された絶縁性封止層と、ソース電極66と、ドレイン電極66と、ソースおよびドレイン電極の各々の下で、少なくともチャネル層60と接触するコンタクト層64とを備え、これらのすべてを、プラスチック基板52上に配置する。基板として低いガラス転移温度を有するプラスチックを使用することを可能にすることによって、薄膜トランジスタは、イメージ用の情報ディスプレイおよび感光アレイのような広範囲の領域で使用することができる。
請求項（抜粋）：
a)基板と、b)前記基板を被覆するポリマー封止膜と、c)ゲート電極と、d)ゲート絶縁体層と、e)前記ゲート絶縁体層の上部に付着された半導体チャネル層と、f)前記チャネル層上に配置された絶縁性封止層と、g)ソース電極と、h)ドレイン電極と、i)前記ソース電極および前記ドレイン電極の各々の下に位置し、少なくとも前記チャネル層と接触するコンタクト層と、を備え、前記基板がプラスチックであることを特徴とする薄膜トランジスタ。
FI (3件)：
H01L 29/78 617 T
, H01L 29/78 619 A
, H01L 29/78 626 C
