特許
J-GLOBAL ID：200903071204942838

振動ジャイロおよびその共振周波数の調整方法

発明者：
石 床 信 行

石 床 信 行 について

, 
藤 本 克 己

藤 本 克 己 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (1件)： 岡田 全啓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-257720
公開番号（公開出願番号）：特開平10-132575
出願日： 1997年09月04日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】 振動体を削ることなく共振周波数を調整した振動ジャイロを提供する。【解決手段】 振動ジャイロ10の振動子12は、正4角柱状の振動体14を含む。振動体14は、互いに逆の厚み方向に分極される第1の圧電体基板14aおよび第2の圧電体基板14bを含む。第1の圧電体基板14aの主面には、その長手方向における中間部に、その幅方向に間隔を隔てて2つの分割電極16aおよび16bが形成される。第2の圧電体基板14bの主面には、共通電極22が形成される。第1の圧電体基板14aおよび第2の圧電体基板14b間には、ダミー電極24が形成される。一方の分割電極16aの表面には、共振周波数を調整するためのめっき層26が形成される。
請求項（抜粋）：
柱状の振動体と前記振動体に形成される電極とを有し屈曲振動する振動子を含む振動ジャイロであって、前記電極の表面にめっき層を形成することによって、前記電極に関連する方向における共振周波数を調整した、振動ジャイロ。
IPC (2件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
引用特許：
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM