特許
J-GLOBAL ID：200903090587864678
水晶振動子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
志賀 富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-006050
公開番号（公開出願番号）：特開平7-212162
出願日： 1994年01月25日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】 所望の発振周波数を容易かつ低コストにて得ることができる水晶振動子の製造方法を提供する。【構成】 人工水晶基板上に所定の形状のぬき型マスクを施し、超音波を用いたスプレーパイロリシス法により、半導体作成用金属塩水溶液の濃度および噴霧時間を設定して半導体層を成膜する。前記基板を塩化パラジウム水溶液等の活性化液中に浸せきして半導体層を触媒活性な表面にし、さらに無電解めっき浴中に浸せきして、水晶基板上の選択的な部分に導電性金属膜を形成する。半導体層の成膜条件を設定することによって作成する水晶振動子の発振周波数を制御する。
請求項（抜粋）：
水晶基板上に霧状化した半導体溶液を接触させて前記水晶基板上に半導体層を形成し、前記半導体層を金属塩溶液と接触させて前記半導体層上に前記金属を析出させる電極膜形成工程を有する水晶振動子の製造方法において、前記霧状化した半導体溶液と前記水晶基板との接触時間を制御することによって水晶振動子の発振周波数を調整する発振周波数調整工程を有することを特徴とする水晶振動子の製造方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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