特許
J-GLOBAL ID:200903071228032743

カラーフィルターの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-008386
公開番号(公開出願番号):特開平7-218717
出願日: 1994年01月28日
公開日(公表日): 1995年08月18日
要約:
【要約】【構成】 透明基板上に金属遮光層、画素および透明保護膜を順次形成するカラーフィルタの製造工程において、前記透明基板上に前記金属遮光層を形成し前記画素を形成した後、前記金属遮光層表面をエッチングし、続いて前記透明保護膜を形成することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。【効果】 金属遮光層表面に形成される透明保護膜の金属遮光層に対する密着性を悪化させる原因であると推定される金属酸化物や有機物の薄膜を、除去することができ、透明保護膜の金属遮光層に対する密着性を向上させる。
請求項(抜粋):
透明基板上に金属遮光層、画素および透明保護膜をこの順にに設けたカラーフィルターの製造方法であって、前記透明基板上に前記金属遮光層および前記画素を順次形成した後、前記金属遮光層表面をエッチング処理し、続いて前記透明保護膜を設けることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
IPC (3件):
G02B 5/20 101 ,  C08G 77/26 NUJ ,  G02F 1/1335 505
引用特許:
審査官引用 (6件)
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