特許

J-GLOBAL ID：200903071234711911

グロー放電用電極、及びグロー放電プラズマによる処理方法

発明者： 福田 和浩 ,  近藤 慶和 ,  戸田 義朗
出願人/特許権者： コニカ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-367413
公開番号（公開出願番号）：特開平11-191500
出願日： 1997年12月25日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：

【要約】【課題】 長時間の運転で大気圧下でグロー放電を行っても、安定な放電が得られるグロー放電用電極を提供し、大気圧下グロー放電プラズマによって表面処理を行う場合も、長時間、均一な表面処理を実現できる表面処理方法を提供する。【解決手段】 ?@大気圧近傍の圧力下でグロー放電を行わせるグロー放電用電極において、該電極1,2を、純度99.6%以上のアルミナ系焼結セラミック11,21で被覆したグロー放電用電極。?A上記?@のグロー放電用電極を用いて得たプラズマにより、被処理体を処理する。

請求項（抜粋）：

大気圧近傍の圧力下でグロー放電を行わせるグロー放電用電極において、該電極を、純度99.6%以上のアルミナ系焼結セラミックで被覆したことを特徴とするグロー放電用電極。

IPC (3件)：

H05H 1/48 ,  C08J 7/06 ,  C23C 16/50

FI (3件)：

H05H 1/48 ,  C08J 7/06 Z ,  C23C 16/50

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 積層体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-005715   出願人：積水化学工業株式会社
• 放電反応装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-120868   出願人：株式会社荏原製作所
• プラズマ処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-126276   出願人：大見忠弘, 株式会社フロンテック