特許

J-GLOBAL ID：200903071252637079

固体撮像装置

発明者： 田中 長孝 ,  中村 信男 ,  山下 浩史 ,  松長 誠之 ,  佐々木 道夫
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-162918
公開番号（公開出願番号）：特開平7-074337
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：

【要約】【目的】 水平CCDの転送効率を十分に高くすることができ、かつ転送電極間短絡を抑制することのできる固体撮像装置を提供すること。【構成】 半導体基板上に2次元的に配列された複数の光電変換蓄積部と、これらの光電変換蓄積部から読み出された信号電荷を垂直方向に転送する複数本の垂直CCDと、これらの垂直CCDで転送された信号電荷を受け水平方向に転送する水平CCDとを備えた固体撮像装置において、垂直CCDをポリSi膜12からなる単層ポリSi構造とし、垂直CCDをポリSi膜12,14からなる2層オーバラップポリSi構造とし、水平CCDの転送電極間ギャップSを垂直CCDの転送電極間ギャップRよりも小さく設計したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

半導体基板上に2次元的に配列された複数の光電変換蓄積部と、これらの光電変換蓄積部から読み出された信号電荷を垂直方向に転送する複数本の垂直CCDと、これらの垂直CCDで転送された信号電荷を受け水平方向に転送する水平CCDとを備えた固体撮像装置において、前記水平CCDの転送電極のギャップを前記垂直CCDの転送電極のギャップよりも小さく設計してなることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (2件)：

H01L 27/148 ,  H01L 21/28 301

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 固体撮像装置およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-077302   出願人：日本電気株式会社
• 特開平1-241863
  
• 電荷結合素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-272817   出願人：沖電気工業株式会社
• 特開平1-241863