特許
J-GLOBAL ID：200903071285266246

ペリクルフレーム

発明者：
関原 一敏

関原 一敏 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (3件)： 荒井 鐘司 ,  河野 尚孝 ,  嶋崎 英一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-126736
公開番号（公開出願番号）：特開2006-301525
出願日： 2005年04月25日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：
【課題】 フォトマスクへの貼付後に剥離が容易なペリクルフレーム、及びそのペリクルフレームを用いたフォトリソグラフィー用ペリクルを提供する。【解決手段】 フレームの長辺の長さが500mm以上の大型ペリクルにおいて、コーナー部12より50mm以内の外側面に少なくとも1箇所の凹み部13を設けたことを特徴とするペリクルフレームである。 また、凹み部13はペリクルフレーム11の外側面全体で5箇所以上配置されていること、凹み部13は直径1.0mm以上3.0mm以下、深さ0.5mm以上でかつ非貫通の丸穴であること、がそれぞれ好ましい。 そして、このようなペリクルフレームを使用してペリクルを構成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
フレームの長辺の長さが500mm以上の大型ペリクルにおいて、コーナー部より50mm以内の外側面に少なくとも1箇所の凹み部を設けたことを特徴とするペリクルフレーム。
IPC (1件)：
G03F 1/14
FI (1件)：
G03F1/14 K
Fターム (1件)：
2H095BC38
引用特許：
出願人引用 (4件)
  • 特開昭58-219023号公報
  • 米国特許第4861402号明細書
  • 特公昭63-27707号公報
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審査官引用 (3件)

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