特許
J-GLOBAL ID：200903081670614510
ペリクル構造体及びその内部の雰囲気確認システム並びに雰囲気置換判定方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-085039
公開番号（公開出願番号）：特開2003-280176
出願日： 2002年03月26日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：
【要約】【課題】ペリクルフレームとその上面に接着されたペリクル膜とからなるペリクル構造体がマスクに装着された状態で、ペリクル構造体内部雰囲気の確認を行うことで、容易にペリクル構造体内部のパージガス置換状況を判定し、酸素、水分、有機化合物等についても濃度確認が可能なペリクル構造体及びその内部の雰囲気確認システム並びに雰囲気置換判定方法を提供することを目的とする。【解決手段】ペリクルフレームとその上面に設けられたペリクル膜からなるペリクル構造体において、該ペリクルフレームの外壁から内壁に連通するパージガス導入口と、ペリクルフレーム内壁に設けた複数のガス排出口と、該ガス排出口に接続するフレーム内部の通気管と、ペリクルフレーム外壁に設けられると共に該通気管に接続する接続口とを備えるペリクル構造体及びそれを用いた雰囲気確認システム並びに雰囲気置換判定方法を提供する。
請求項（抜粋）：
ペリクルフレームとペリクルフレームの上面に設けられたペリクル膜からなるペリクル構造体において、該ペリクルフレームの外壁から内壁に連通するパージガス導入口と、ペリクルフレーム内壁に設けた複数のガス排出口と、該ガス排出口に接続するフレーム内部の通気管と、ペリクルフレーム外壁に設けられると共に該通気管に接続する接続口とを備えることを特徴とするペリクル構造体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/14 J
, H01L 21/30 502 P
2H095BA01
, 2H095BB30
, 2H095BC33
, 2H095BC34
